中科仪（南通）半导体设备有限责任公司成立于2020年，为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司全资子公司，坐落在南通高新区国家集成电路零部件产业园。公司聚焦集成电路和光伏行业在内的泛半导体领域，构建了高起点、高标准的技术平台，成为集真空获得装置研发、生产、销售、服务为一体的现代企业。
总部中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司创建于1958年，前身为中国科学院直属科研事业单位，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术试验基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等科研平台。公司承担了国家“863计划”、 “02专项”、 “国家重点研发计划”等国家级科技专项，并通过自主研发创新实现了国产干式真空泵在集成电路领域的批量应用，打破了欧美及日本企业对同类产品的长期垄断，实现了关键装备的进口替代，先后获得国家科技进步奖6项，中国科学院及省部级科技进步奖20项，拥有专利71项，被认定为国家第二批专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、国家知识产权优势企业、辽宁省技术创新示范企业、辽宁省创新型中小企业、辽宁省省级企业技术中心等。
中科仪（南通）半导体设备有限责任公司依托于母公司强大的研发人才、深厚的技术积累和产品基础，以创新为理念，以干式真空泵产品为主营业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。产品集成了机械制造、自动控制、材料、热力学、振动等多个学科的最新科技成果，产品洁净、无油、性能卓越、价格合理，主要性能已达到国际水平。公司拥有38000平方米高自动化、高智能化的清洗、加工、装配产线，拥有先进的加工和检测设备30余套，年产能2万台，为生产高品质干式真空泵产品提供有力保障。